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マスフローコントローラー(MFC)の制御・システム開発実績

マスフローコントローラー(MFC)の制御・システム開発実績 | 測定代行株式会社

化学実験装置、半導体製造関連装置、燃焼・ガス供給プロセス、燃料電池評価などにおいて不可欠なマスフローコントローラー(MFC)の制御・自動化システム開発は、測定代行株式会社の得意とする分野の一つです。「複数の異なるメーカーのMFCを一台のPCやマイコンから統合制御したい」「アナログ制御からデジタル通信(ModbusやRS-485等)へ移行したい」「流量のリアルタイムロギングやPID制御を連動させたい」といったご要望に対し、メーカー問わず柔軟なインテグレーションを実現します。

あらゆるメーカーのマスフローコントローラーに対応

測定代行株式会社では、特定のメーカーに依存することなく、国内外の主要なマスフローコントローラー(MFC/MFM)の制御プログラム開発実績を豊富に有しています。

主要メーカー・多様な仕様に対応

HORIBA STEC、Bronkhorst(ブロンホルスト)、KOFLOC(コフロック)、AERA、Brooksなど、国内外のあらゆるメーカー・型式のMFCの通信仕様(アナログ入出力、RS-485、Modbus等)に合わせた制御ドライバ・アプリを構築します。

マルチチャンネル・混載システムの統合

「実験装置ごとに異なるメーカーのMFCが混在している」「多チャンネル(多系統)のガスを同時に高精度制御したい」といった現場でも、一つの操作画面(UI)やプログラムから一括管理できるシステムを構築します。

レガシー機器から最新デジタルへの対応

古いアナログ電圧制御(0?5V / 4?20mA)のMFCを使用しているシステムの維持・保守から、最新のデジタル通信対応モデルへのリプレイスまで幅広くサポートします。

測定代行株式会社が選ばれる理由:LabVIEW×計測制御のノウハウ

LabVIEWを用いた高機能なカスタムUIとロギング
PC上での高度なデータ収集(DAQ)、リアルタイムグラフ描画、CSV/Excelへの自動ロギング、異常時のインターロック機構などをLabVIEWを活用してスピーディに構築します。
ハードウェア(マイコン・PLC)とのシームレスな連携
PCだけでなく、各種マイコン(STM32やESP32)やCompactRIOなどを用いた組込み型の独立制御システムとしても実装可能であり、過酷な実験環境でも安定した動作を担保します。
計測・制御のバックグラウンドに裏打ちされた仕様策定
単にプログラムを書くだけでなく、流体の特性やセンサー誤差、制御ループの応答性など、計測の物理的背景を理解した上での最適なシステム設計を行います。

MFC制御システム開発の対応仕様・環境

対応通信・インターフェース RS-485, Modbus RTU, RS-232C, アナログ制御(電圧 0-5V / 1-5V、電流 4-20mA)等
ソフトウェア環境 LabVIEW (Real-Time / FPGA含む)
主な適用分野 研究用実験装置、化学反応プロセス制御、半導体・電子部品製造装置、燃料電池・触媒評価システム、ガス混合・供給装置など

よくあるご質問(FAQ)

Q. 異なるメーカーのマスフローコントローラーを混在させて制御することは可能ですか?

A. はい、可能です。メーカーごとに通信プロトコルや制御コマンドが異なっていても、上位のコントロールソフト側で適切にラップ・統合することで、オペレーターがシームレスに一括管理できるシステムを構築いたします。

Q. MFCの制御だけでなく、温度調節器や圧力計など他の機器との連動もお願いできますか?

A. はい、喜んで承ります。マスフローコントローラーの流量制御と、温調器(温度制御)や圧力センサー、バルブの開閉などを連動させた、トータルな実験装置・プロセス自動化システムの開発実績が多数ございます。

マスフローコントローラー制御・自動化のご相談

マスフローコントローラーの制御システム開発や、複数メーカー機器の統合、流量データの自動ロギングなどでお困りではありませんか?

「古い装置の制御を刷新したい」「新しいガス供給システムを構築したい」といったご要望は、計測制御の専門家である測定代行株式会社へお気軽にご相談ください。最適なシステム構成をご提案いたします。

MFC制御・自動化システム・お見積もりのご相談

ご相談や概算のお見積もりはすべて無料で承っております。仕様書や設計図がなくても大歓迎です。実務経験豊富なエンジニアが、ヒアリングを通じて仕様を具現化します。

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